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    企业新闻

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    江苏能华微电子科技发展有限公司环境监测数据公开
    2018-12-03

    环境监测数据公开

    依据国家法律法规和地方环保局要求,江苏能华微电子科技发展有限公司积极承担?;せ肪?,共建美好家园的社会主体责任,诚邀张家港地方资质高、专业性、综合实力强的新锐环保监测有限公司于201811月份对我司进行维持三天的全天候的环境监测,并将监测数据和分析评价结果公布于众,接受社会各界和群众的监督和检举。以下是环境监测的各项数据和分析评价结果:

    1、环境监测数据结果及分析评价

    1.1 废水监测结果及分析评价

    1.1.1 监测结果

    废水监测结果见表1-1~表1-2。

    1-1 废水接管口监测结果表

    监测点位

    监测日期

    监测频次

    监测项目

    pH

    化学需氧量

    悬浮物

    总磷

    氨氮

    总氮

    BOD5

    TDS

    接管口S1

    1114

    第一次

    7.08

    56

    18

    0.37

    2.00

    4.02

    40.7

    737

    第二次

    7.09

    59

    17

    0.33

    1.89

    3.99

    40.2

    744

    第三次

    7.09

    56

    20

    0.32

    1.93

    4.15

    42.O

    714

    第四次

    7.09

    57

    19

    0.32

    2.01

    4.02

    40.0

    728

    日均值

    7.08-7.09

    57

    19

    0.34

    1.96

    4.05

    40.3

    731

    标准值

    69

    500

    400

    5.0

    35

    50

    300

    2000

    达标情况

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    1115

    第一次

    7.09

    40

    15

    0.18

    0.850

    2.40

    32.2

    1030

    第二次

    7.09

    36

    16

    0.16

    0.874

    2.20

    32.1

    985

    第三次

    7.09

    40

    15

    0.17

    0.853

    2.30

    31.6

    1020

    第四次

    7.08

    42

    18

    0.17

    0.862

    2.27

    31.0

    1020

    日均值

    7.08-7.09

    40

    16

    0.17

    0.860

    2.29

    31.7

    1014

    标准值

    69

    500

    400

    5.0

    35

    50

    300

    2000

    达标情况

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标


    1-2 设施处理能力监测结果表

    监测点位

    监测频次

    1114

    1115

    pH

    废水处理设施进口S3

    第一次

    3.44

    3.46

    第二次

    3.43

    3.45

    第三次

    3.45

    3.46

    第四次

    3.42

    3.47

    日均值

    3.42-3.45

    3.45-3.47

    废水处理设施口S2

    第一次

    7.03

    7.01

    第二次

    7.02

    7.02

    第三次

    7.01

    7.03

    第四次

    7.03

    7.02

    日均值

    7.01-7.03

    7.01-7.03


    1.1.2 结果评价

    监测结果表明:验收监测期间,项目污水接入华夏再制造公司的总管前排放废水中各类污染物均满足环评中的接管要求。



    1.2 废气监测结果及分析评价

    1.2.1 无组织废气监测结果

    本项目无组织废气监测结果见表1-3,监测期间气象参数见表1-4,监测点位图见附图1-1。

    10-3 无组织排放废气监测结果表

    监测日期

    监测点位(厂界)

    频次

    监测项目(单位:mg/m3)

    VOCs

    颗粒物

    氯化氢

    硫酸雾

    氯气

    氮氧化物

    臭气浓度

    丙酮

    异丙醇

    环己酮

    乙醇

    1114

    G1上风向

    第一次

    0.474

    0.070

    0.033

    0.009

    0.04

    0.027

    0.01

    11

    ND

    ND

    ND

    ND

    第二次

    0.634

    0.087

    0.031

    0.008

    0.05

    0.030

    0.01

    12

    ND

    ND

    ND

    ND

    第三次

    0.722

    0.088

    0.036

    0.009

    0.03

    0.027

    0.01

    12

    ND

    ND

    ND

    ND

    G2下风向

    第一次

    0.870

    0.104

    0.032

    0.009

    0.13

    0.027

    0.02

    15

    ND

    ND

    ND

    ND

    第二次

    0.645

    0.087

    0.036

    0.008

    0.14

    0.026

    0.02

    14

    ND

    ND

    ND

    ND

    第三次

    0.963

    0.105

    0.035

    0.009

    0.15

    0.025

    0.03

    15

    ND

    ND

    ND

    ND

    G3下风向

    第一次

    0.927

    0.104

    0.033

    0.011

    0.16

    0.031

    0.01

    15

    ND

    ND

    ND

    ND

    第二次

    0.776

    0.105

    0.034

    0.011

    0.20

    0.029

    0.02

    14

    ND

    ND

    ND

    ND

    第三次

    0.897

    0.123

    0.034

    0.010

    0.19

    0.025

    0.02

    16

    ND

    ND

    ND

    ND

    G4下风向

    第一次

    0.936

    0.122

    0.045

    0.009

    0.11

    0.031

    0.02

    18

    ND

    ND

    ND

    ND

    第二次

    0.839

    0.122

    0.034

    0.009

    0.11

    0.032

    0.03

    15

    ND

    ND

    ND

    ND

    第三次

    0.815

    0.140

    0.041

    0.009

    0.14

    0.037

    0.02

    15

    ND

    ND

    ND

    ND

    1115

    G1上风向

    第一次

    0.563

    0.070

    0.031

    ND

    0.07

    0.053

    0.01

    12

    ND

    ND

    ND

    ND

    第二次

    0.534

    0.052

    0.035

    ND

    0.05

    0.045

    0.01

    12

    ND

    ND

    ND

    ND

    第三次

    0.575

    0.070

    0.030

    ND

    0.07

    0.055

    0.01

    13

    ND

    ND

    ND

    ND

    G2下风向

    第一次

    0.634

    0.087

    0.038

    ND

    0.34

    0.061

    0.02

    16

    ND

    ND

    ND

    ND

    第二次

    0.709

    0.087

    0.033

    ND

    0.31

    0.053

    0.03

    18

    ND

    ND

    ND

    ND

    第三次

    0.612

    0.105

    0.031

    ND

    0.30

    0.054

    0.02

    19

    ND

    ND

    ND

    ND

    G3下风向

    第一次

    0.834

    0.105

    0.047

    0.005

    0.34

    0.057

    0.02

    18

    ND

    ND

    ND

    ND

    第二次

    0.641

    0.105

    0.036

    0.006

    0.32

    0.058

    0.02

    16

    ND

    ND

    ND

    ND

    第三次

    0.597

    0.123

    0.035

    0.006

    0.35

    0.056

    0.02

    16

    ND

    ND

    ND

    ND

    G4下风向

    第一次

    0.702

    0.140

    0.035

    0.006

    0.05

    0.050

    0.01

    18

    ND

    ND

    ND

    ND

    第二次

    0.916

    0.140

    0.032

    0.005

    0.04

    0.056

    0.01

    16

    ND

    ND

    ND

    ND

    第三次

    0.642

    0.140

    0.033

    0.005

    0.05

    0.056

    0.01

    19

    ND

    ND

    ND

    ND

    最大值

    0.963

    0.140

    0.047

    0.011

    0.35

    0.061

    0.03

    19

    /

    /

    /

    /

    标准值

    2.4

    1.0

    0.20

    1.2

    0.40

    0.12

    1.5

    20

    3.2

    2.4

    0.24

    20

    达标情况

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    达标

    注:ND表示未检出,具体检出限见表8-1。



    1-4 无组织监测期间气象参数表

    日期

    参数

    频次

    气温(k

    大气压(kpa

    湿度(%

    风向

    风速(m/s

    1114

    第一次

    288.0

    102.4

    73

    东风

    2.0

    第二次

    288.7

    102.3

    68

    东风

    2.2

    第三次

    289.5

    102.2

    63

    东风

    2.1

    1115

    第一次

    288.2

    102.2

    75

    东风

    1.8

    第二次

    288.8

    102.1

    71

    东风

    2.1

    第三次

    289.3

    102.0

    67

    东风

    1.9

    497532238477921559

    注:1、N1-N2表示噪声监测点位编号,▲表示噪声测点位置;

    2、G1-G4为无组织废气测点编号,○表示大气测点位置,监测期间主导风向为东风。

    1-1 无组织废气监测点位图

    1.2.2 无组织废气监测结果评价

    监测结果表明:验收监测期间,本项目无组织排放废气中颗粒物、氯化氢、硫酸雾、氯、氮氧化物的最大浓度值均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中标准限值要求,氨和臭气浓度最大浓度值均符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表1中二级新改扩建标准值要求,丙酮、异丙醇、环己酮、乙醇最大浓度值均符合根据《制定地方大气污染物排放标准的技术方法》计算得到的限值要求,VOCs最大浓度值符合《天津市工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2014)中限值要求。


    本项目





    1.2.3 有组织废气监测结果

    本项目有组织废气监测结果见表1-7~表1-8。

    10-7 有组织废气监测结果表

    20181114

    20181115

    /

    光刻间+有机清洗间废气排气筒Q1

    第一次

    第二次

    第三次

    均值

    第一次

    第二次

    第三次

    均值

    标准值

    烟气流量(Nm3/h)

    4509

    4496

    4443

    /

    4718

    4597

    4456

    /

    /

    乙醇浓度(mg/Nm3)

    11.9

    24.9

    4.65

    13.8

    12.3

    25.8

    4.99

    14.4

    /

    乙醇排放速率(kg/h)

    0.054

    0.112

    0.021

    0.062

    0.058

    0.119

    0.022

    0.066

    55

    环己酮浓度(mg/Nm3)

    ND

    ND

    ND

    /

    ND

    ND

    ND

    /

    /

    环己酮排放速率(kg/h)

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    0.66

    丙酮浓度(mg/Nm3)

    0.30

    3.96

    0.47

    1.58

    1.36

    2.23

    3.51

    2.37

    /

    丙酮排放速率(kg/h)

    0.001

    0.018

    0.002

    0.007

    0.006

    0.010

    0.016

    0.011

    8.8

    异丙醇浓度(mg/Nm3)

    ND

    2.96

    ND

    0.97

    0.810

    1.02

    1.18

    1.00

    /

    异丙醇排放速率(kg/h)

    /

    0.013

    /

    0.004

    0.004

    0.005

    0.005

    0.005

    6.6

    VOCs浓度(mg/Nm3)

    8.16

    10.9

    6.58

    8.55

    5.89

    6.84

    7.72

    6.82

    20

    VOCs排放速率(kg/h)

    0.037

    0.049

    0.029

    0.038

    0.028

    0.031

    0.034

    0.031

    7.65

    氮氧化物浓度(mg/Nm3)

    ND

    ND

    ND

    /

    ND

    ND

    ND

    /

    240

    氮氧化物排放速率(kg/h)

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    2.85

    注:ND表示未检出,具体检出限见表8-1。


    10-8 有组织废气监测结果表

    时间

    20181114

    20181115

    /

    点位

    外延+无机清洗台+钝化间+干法蚀刻废气排气筒Q2

    项目

    第一次

    第二次

    第三次

    均值

    第一次

    第二次

    第三次

    均值

    标准值

    烟气流量(Nm3/h)

    9765

    10009

    9702

    /

    9019

    9556

    9426

    /

    /

    硫酸雾浓度(mg/Nm3)

    ND

    ND

    ND

    /

    ND

    ND

    ND

    /

    45

    硫酸雾排放速率(kg/h)

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    5.7

    氯化氢浓度(mg/Nm3)

    0.23

    0.56

    0.22

    0.34

    0.50

    0.44

    0.50

    0.48

    100

    氯化氢排放速率(kg/h)

    0.002

    0.006

    0.002

    0.003

    0.005

    0.004

    0.005

    0.004

    0.915

    氯气浓度(mg/Nm3)

    0.7

    0.7

    0.7

    0.7

    1.3

    1.4

    1.6

    1.4

    65

    氯气排放速率(kg/h)

    0.007

    0.007

    0.007

    0.007

    0.012

    0.013

    0.015

    0.013

    0.52

    烟气流量(Nm3/h)

    10172

    8605

    9740

    9506

    10093

    9980

    10263

    10112

    /

    颗粒物浓度(mg/Nm3)

    2.9

    3.1

    3.2

    3.1

    3.0

    2.9

    3.0

    3.0

    60

    颗粒物排放速率(kg/h)

    0.029

    0.027

    0.031

    0.029

    0.030

    0.029

    0.031

    0.030

    7.55

    氨浓度(mg/Nm3)

    9.82

    9.03

    11.2

    10.0

    1.93

    2.42

    2.31

    2.22

    30

    氨排放速率(kg/h)

    0.096

    0.090

    0.109

    0.098

    0.017

    0.023

    0.022

    0.021

    14

    氮氧化物浓度(mg/Nm3)

    ND

    ND

    ND

    /

    ND

    ND

    ND

    /

    240

    氮氧化物排放速率(kg/h)

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    /

    2.85

    甲烷浓度(mg/Nm3)

    1.39

    1.37

    1.38

    1.38

    1.39

    1.37

    1.37

    1.38

    /

    甲烷排放速率(kg/h)

    0.014

    0.014

    0.013

    0.014

    0.013

    0.013

    0.013

    0.013

    /

    臭气浓度(无量纲)

    724

    724

    549

    /

    724

    724

    977

    /

    6000

    注:ND表示未检出,具体检出限见表8-1。


    1.2.3 有组织废气监测结果评价

    监测结果表明:验收监测期间,本项目有组织排放的工业废气中颗粒物(含二氧化硅)、氯化氢、硫酸雾、氯、氮氧化物排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2标准限值要求,臭气浓度和氨的排放速率均符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2标准限值要求,氨的排放浓度符合北京市地方标准《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2007)表1中的Ⅱ时段标准限值要求;丙酮、异丙醇、环己酮、乙醇排放速率均符合根据《制定地方大气污染物排放标准的技术方法》计算得到的限值要求,VOCs排放浓度和排放速率均符合《天津市工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2014)中“电子工业(半导体制造)”的限值要求;硅烷排放浓度和排放速率均符合《荷兰排放导则》中限值要求。


    1.3 噪声监测结果及分析评价

    1.3.1 噪声监测结果

    本项目噪声监测结果见表1-9,监测点位见图1-2。

    1-9 项目厂界环境噪声监测结果汇总表 单位:dB(A)

    测点编号

    测点名称

    监测时间

    昼间

    达标情况

    夜间

    达标情况

    N1

    项目北侧厂界外1

    20181114

    51.8

    达标

    48.8

    达标

    20181115

    52.5

    达标

    48.2

    达标

    N2

    项目东侧厂界外1

    20181114

    53.8

    达标

    49.2

    达标

    20181115

    53.5

    达标

    49.6

    达标

    1.3.2结果评价

    监测结果表明:验收监测期间,本项目厂界环境噪声测点N1-N2昼、夜间等效声级值均达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-20083类标准限值要求(昼间≤65dBA),夜间≤55dBA))。

    584046842435273388

    注:N1-N2表示噪声监测点位编号,▲表示噪声测点位置;G1-G4为无组织废气测点编号,○表示大气测点位置。

    1-2 监测点位图


    1.4 污染物排放总量核算

    1.4.1 废水污染物排放总量

    1-1 水污染物接管总量核算

    类别

    污染物

    浓度值(mg/L)

    排放总量

    t/a

    接管总量指标(t/a

    是否满足接管总量指标

    总废水

    废水量

    /

    =SUM(ABOVE) 5040

    2400

    达标

    COD

    48

    0.243

    1.2

    达标

    NH3-N

    1.41

    0.007

    0.084

    达标

    SS

    17

    0.086

    0.96

    达标

    TP

    0.25

    0.001

    0.012

    达标

    注:污水年排放量依据水平衡数据。


    1.4.2 废气污染物排放总量

    1-2 项目有组织废气产生及排放情况

    排气筒

    污染源位置

    污染物名称

    治理措施

    排放时间

    排气筒Q2

    外延炉车间

    粉尘、氨、甲烷、氮氧化物、臭气浓度

    设备内过滤+2套催化燃烧装置1#、2#+2级碱液吸收

    2400

    排气筒Q1

    光刻间

    乙醇、环己酮

    1套催化燃烧装置3#+活性炭吸附装置

    800

    有机清洗间

    丙酮、异丙醇、VOCs、氮氧化物

    800

    排气筒Q2

    钝化

    硅烷、颗粒物

    设备自带滤尘器+2级碱液吸收

    800

    排气筒Q2

    无机清洗间

    硫酸雾、氯化氢

    1套2级碱液吸收

    800

    排气筒Q2

    刻蚀

    氯气

    碱液吸收+2级碱液吸收

    25

    注:氮氧化物为催化燃烧过程中产生的次生污染物。

    1-3 大气污染物排放总量核算结果

    污染物

    平均排放速率(kg/h)

    年排放时间(h)

    年排放量(t/a)

    年排放总量指标(t/a

    是否满足总量控制指标

    VOCs

    0.034

    800

    0.027

    0.036

    达标

    颗粒物

    0.030

    2400

    0.072

    0.092

    达标

    0.060

    2400

    0.144

    0.186

    达标

    甲烷

    0.014

    2400

    0.034

    0.041

    达标

    硫酸雾

    /

    800

    /

    0.0664

    达标

    氯化氢

    0.004

    800

    0.003

    0.004

    达标

    氯气

    0.010

    25

    0.00025

    0.0004

    达标

    异丙醇

    0.004

    800

    0.0032

    0.174

    达标

    氮氧化物

    /

    2400

    /

    2.2316

    达标

    乙醇

    0.064

    800

    0.051

    0.067

    达标

    环己酮

    /

    800

    /

    0.06

    达标

    丙酮

    0.009

    800

    0.007

    0.009

    达标

    注:硫酸雾、氮氧化物、环己酮浓度未检出。

    1.4.3 固体废物排放总量

    1-4 固体废物核算结果

    固体废物名称

    废石墨盘、废外延片、废芯片、除尘粉末

    废包装桶

    废酸液

    废显影液

    废清洗溶剂

    废化学品桶

    废水处理污泥

    废活性炭

    废滤网

    生活垃圾

    产生量(t/a

    0.1404

    0.5

    15

    2.128

    36

    3000

    0.5

    0.5

    0.03

    30

    利用量(t/a

    0.1404

    0.5

    0

    0

    0

    0

    0.5

    0

    0.03

    0

    处置量(t/a

    0

    0

    15

    2.128

    36

    3000

    0

    0.5

    0

    30

    排放量(t/a

    0

    0

    0

    0

    0

    0

    0

    0

    0

    0

    说明:本项目固废“零”排放。

    项目现阶段危废产量包括:废酸液6 t/a,废显影液1.6 t/a,废清洗溶剂30 t/a,废活性炭0.5 t/a;暂存在厂区内的危废暂存仓内,每两个季度处置一次,保证无贮存超过一年的危废物。项目产生的固体废物全部综合利用、安全处置和签订了相关处置协议,危废处置单位具备相应资质。

    2、监测结论

    监测结果表明,验收监测期间:

    2.1 污染物排放监测结果及达标情况

    2.1.1 废水监测结果

    项目污水接入华夏再制造公司的总管前排放废水中各类污染物均满足环评中的接管要求。

    2.1.2 废气监测结果

    无组织:本项目无组织排放废气中颗粒物、氯化氢、硫酸雾、氯、氮氧化物的最大浓度值均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中标准限值要求,氨和臭气浓度最大浓度值均符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表1中二级新改扩建标准值要求,丙酮、异丙醇、环己酮、乙醇最大浓度值均符合根据《制定地方大气污染物排放标准的技术方法》计算得到的限值要求,VOCs最大浓度值符合《天津市工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2014)中限值要求。

    有组织:本项目有组织排放的工业废气中颗粒物(含二氧化硅)、氯化氢、硫酸雾、氯、氮氧化物排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2标准限值要求,臭气浓度和氨的排放速率均符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2标准限值要求,氨的排放浓度符合北京市地方标准《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2007)表1中的Ⅱ时段标准限值要求;丙酮、异丙醇、环己酮、乙醇排放速率均符合根据《制定地方大气污染物排放标准的技术方法》计算得到的限值要求,VOCs排放浓度和排放速率均符合《天津市工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2014)中“电子工业(半导体制造)”的限值要求;硅烷排放浓度和排放速率均符合《荷兰排放导则》中限值要求。

    2.1.3 噪声监测结果

    本项目厂界环境噪声测点N1-N2昼、夜间等效声级值均达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-20083类标准限值要求(昼间≤65dBA),夜间≤55dBA))。

    2.1.4 固废监测结果

    项目厂区内设有一般固废堆放场所20平方和危险废物暂存场所20平方,项目产生的各类固废均按环评要求进行了安全处理或签订了相关处理协议,委托的危废处置单位均具备相应资质。

    2.2 污染物排放总量核算结果及达标情况

    2.2.1 废水排放总量

    核算结果表明,本项目污水接管口各污染物年排放量满足总量指标要求。

    2.2.2 废气排放总量

    核算结果表明,本项目排放废气中各类污染物年排放量满足总量指标要求。


    压大小单双